2006年,Cliche等人利用电学反馈的方法将MHz量级的半导体分布式反馈激光器(distributed feedback laser,DFB)降低到kHz量级;2011年,Kessler等人利用低温高稳单晶腔结合有源反馈控制获得40 MHz的超窄线宽激光输出;2013年,Peng等人利用腔外法珀腔(Fabry-Perot, FP)反馈调节的方法获得15 kHz线宽的半导体激光输出,电学反馈方法主要利用的是Pond-Drever-Hall稳频反馈使得光源激光线宽得到压缩。2010年,Bernhardi等人在氧化硅基底上制作1 cm的掺铒氧化铝FBG,获得线宽约为1.7 kHz的激光输出。同年,Liang等人针对半导体激光器利用高Q回音壁谐振腔形成的后向瑞利散射自注入反馈进行线宽压缩,如图 1所示,终获得160 Hz的窄线宽激光输出。
近年来,随着5G的规模部署带动流量快速增长,推动带宽快速提升。同时,新冠疫情的暴发促进数据中心、光纤到户的需求大涨,为光通信产业带来可观的需求,光模块、波分器件、分路器、连接器的市场需求都持续增长,固网、接入网也迎来了新的建设周期。
光模块是光通信设备的重要组成部分,而光通信器件是光模块的主要构成部件,其性能主导着光通信网络的升级换代,而激光器则是光模块内部的电光转换器件。
半导体激光器具有体积小、重量轻、电光转换、性能稳定、l可靠性高和寿命长等优点,随着半导体激光器技术的快速发展和突破,DFB激光器,半导体激光器产品质量、波长范围和输出功率正在迅速提高,产品种类日益丰富,应用范围覆盖了整个光电子学领域,已成为当今光电子科学的技术,属于光电行业中具发展前途的领域之一。半导体激光器可分为垂直腔面发射激光器(VCSEL)、法布里-珀罗激光器(FP)、分布式反馈激光器(DFB)、电吸收调制激光器(EML)等。不同类型的激光器在性能和成本等方面存在差异,光模块可根据具体规格要求选择不同的芯片方案。
在半导体激光器家族中,DFB激光器因其优异的光谱特性与调制特性,已经成为通信系统中为重要、使用为广泛的光源之一。DFB激光器的概念和理论早由美国贝尔实验室的H.Kogelnik和C.V.Shank于1971—1972年间提出,早的半导体DFB激光器出现在1973年。经过近50年的发展,DFB激光器已被广泛应用于光通信、传感、测绘等领域。
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